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成都奋羽电子科技有限公司
联系人：李 女士 (市场总监)
电 话：028-62093780
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远程微波等离子源RPS

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详细说明

     奋羽电子完全 自由知识产权产品

 可根据客户需求提供定制化服务：功率、处理面积、腔体设计等

 固态微波源和磁控管微波源两种版本可选





项目 固态源版本 磁控管版本

输出功率 3kW 3kW

输出频率 2450MHz±25MHz 2450MHz±25MHz

频率误差 ±50ppm 2%-3%

微波泄露 ≤2mW/cm2 ≤2mW/cm2

供电电压 AC380V±10% AC380V±10%

供电频率 50Hz±2Hz 50Hz±2Hz

进/出水口 1/8宝塔接头 DN15

冷却方式 水冷 水冷

控制接口 RS485通信协议 具备本地触摸屏控制及远程通讯功能

工艺气体 Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蚀材料） Ar、O2、H2、CF4等（CF4需配耐刻蚀材料）

 
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